标准详细信息
表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序 |
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| 标准编号：GB/T 45770-2025 | 标准状态： 即将实施 | 阅读打印版价格： 49.0 |
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标准简介
适用范围：
本文件规定了用于表征AFM探针形状，特别是柄和近尖端轮廓的两种方法。这两种方法分别通过将AFM探针尖轮廓投影到指定平面上，或者在确定的操作条件下将探针柄的特征投影到该平面上来实现。其中，后一种方法可以给出探针用于狭窄沟槽和类似轮廓结构的深度测量时的有效性。本文件适用于半径大于5u0的探针，其中u0是用于表征探针的参考样品脊形结构宽度的不确定度。
标准编号：
GB/T 45770-2025标准名称：
表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序英文名称：
Surface chemical analysis—Atomic force microscopy—Procedure for in situ characterization of AFM probe shank profile used for nanostructure measurement标准状态：
即将实施发布日期：
2025-06-30实施日期：
2026-01-01出版语种：
中文简体
替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
ISO 18115-2,ISO/TS 80004-4采用标准：
采标名称：
《表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序》采标程度：
IDT
