标准详细信息
表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法 |
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| 标准编号：GB/T 20175-2025 | 标准状态： 即将实施 | 阅读打印版价格： 43.0 |
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标准简介
适用范围：
本文件提供了使用适当的单层和多层参考物质优化溅射深度分析参数的指导和要求，以便优化俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱中的仪器设置，实现最佳深度分辨。
本文件不涵盖特殊多层膜系（例如δ掺杂层）的使用。
本文件不涵盖特殊多层膜系（例如δ掺杂层）的使用。
标准编号：
GB/T 20175-2025标准名称：
表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法英文名称：
Surface chemical analysis—Sputter depth profiling—Optimization using layered systems as reference materials标准状态：
即将实施发布日期：
2006-03-27实施日期：
2026-01-01出版语种：
中文简体
替代以下标准：
GB/T 20175-2006被以下标准替代：
引用标准：
ISO 18115-1采用标准：
采标名称：
《表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法》采标程度：
IDT
