标准详细信息
表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜 |
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| 标准编号：GB/T 32996-2025 | 标准状态： 即将实施 | 阅读打印版价格： 65.0 |
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标准简介
适用范围：
本文件描述了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。
本方法适用于测定金属上厚度为5 nm~10 000 nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰、锆和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。
本方法适用于测定金属上厚度为5 nm~10 000 nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰、锆和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。
标准编号：
GB/T 32996-2025标准名称：
表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜英文名称：
Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow dischargeoptical emission spectrometry标准状态：
即将实施发布日期：
2016-10-13实施日期：
2026-01-01出版语种：
中文简体
替代以下标准：
GB/T 32996-2016被以下标准替代：
引用标准：
ISO 14284,ISO 14707采用标准：
采标名称：
《表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜》采标程度：
IDT
